圣戈班PDS固態(tài)擴(kuò)散源

2019年06月13日

什么是PDS固態(tài)源?

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在微電子行業(yè)中,對(duì)硅片進(jìn)行擴(kuò)散需要用到硼或者磷源。

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離子注入是8“及以上尺寸硅片最常用的方式,液態(tài)或者氣態(tài)源則廣泛用在均勻性要求不高的工藝中。而固態(tài)擴(kuò)散源是一種高要求擴(kuò)散的優(yōu)良的解決方案。圣戈班從上世紀(jì)70年代開始開發(fā)固態(tài)源工藝,目前提供全方位的產(chǎn)品和技術(shù)支持。PDSR是Planar Diffusion Sources (平面擴(kuò)散源)的商標(biāo)。

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為什么要用PDS固態(tài)源?

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首先是均勻性良好,一般使用者反饋片內(nèi)和片間均勻性可以控制到1%~2%。且成品缺陷程度率低。

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其次是PDS固態(tài)源無(wú)毒無(wú)害,相較于液態(tài)或者氣態(tài)源,PDS的設(shè)備毒害防護(hù)要求很低既環(huán)保又保證符合國(guó)家對(duì)環(huán)保的要求。從液態(tài)或者氣態(tài)源改造為固態(tài)源僅需要修改氣路,添置專用石英舟等簡(jiǎn)單改造即可使用。

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使用固態(tài)源產(chǎn)生的參雜劑封閉在硅片周圍,不會(huì)附著在設(shè)備管道或者門上,易于設(shè)備清理和維護(hù)。

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可以簡(jiǎn)單通過擴(kuò)散溫度,時(shí)間和氣流來控制需要的目標(biāo)產(chǎn)品,不連續(xù)生產(chǎn)的時(shí)候也方便取出和保存。

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通過工藝中間的膜厚測(cè)量可以預(yù)判生產(chǎn)的品質(zhì)質(zhì)量。

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跟離子注入相比,固態(tài)源一次擴(kuò)散一個(gè)舟可以擴(kuò)散25片,效率高節(jié)約時(shí)間成本。

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PDS固態(tài)源有那么多優(yōu)勢(shì)為什么我?guī)缀鯖]有聽說過?

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PDS固態(tài)源在世界范圍內(nèi)有非常多的商業(yè)量產(chǎn)的實(shí)績(jī),幾十年來客戶的持續(xù)使用也證明了產(chǎn)品的穩(wěn)定性。在中國(guó)早期有非常多的工程師了解這個(gè)工藝。由于離子注入和液態(tài)氣態(tài)有非常多的從業(yè)者從而導(dǎo)致整個(gè)工藝為行業(yè)所熟悉,高端的會(huì)選用離子注入,低端的會(huì)選擇液態(tài)氣態(tài)。目前由于

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1)國(guó)家環(huán)保要求,液態(tài)氣態(tài)源的生產(chǎn)會(huì)面臨一定的環(huán)保風(fēng)險(xiǎn),

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2)MEMS器件的生產(chǎn)擴(kuò)張,高濃度擴(kuò)散需要熱擴(kuò)散工藝,

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3)中高品位產(chǎn)品的需求增長(zhǎng)。

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PDS固態(tài)源收到了越來越多的詢盤。

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PDS固態(tài)源有什么局限性?

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-PDS固態(tài)源目前可以做到的極限尺寸為8“。

-只能適用于水平爐管而不能用于垂直爐管

-原來液態(tài)氣態(tài)擴(kuò)散路需要進(jìn)行氣路改造才能使用,過程需要通氮?dú)?/span>

-需要專用的石英舟配合

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PDS固態(tài)源的技術(shù)支持夠嗎?

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圣戈班從事該產(chǎn)品的生產(chǎn)快50年,過去有自己的擴(kuò)散爐設(shè)備,在一次又一次的售前售后技術(shù)支持中,累計(jì)大量的實(shí)際生產(chǎn)數(shù)據(jù)以及問題解決的方案。我們絕不是只銷售產(chǎn)品,我們也提供相關(guān)的工藝支持,石英舟涉及,使用知道手冊(cè)等書面資料,在每一個(gè)客戶的不同要求里,我們會(huì)提供有針對(duì)性的解決方案。