迷你閥門減輕晶圓加工關(guān)鍵設(shè)備的污染風(fēng)險(xiǎn)

2019年08月08日

挑戰(zhàn)

考慮到每種類型的閥門都有自己的應(yīng)用領(lǐng)域,選擇一款流體處理閥門在過(guò)去是很容易的。隔膜閥主要用于處理研磨液和腐蝕性流體。由于隔膜閥的表面接觸最小且被認(rèn)為是最潔凈的閥門,因此在半導(dǎo)體工業(yè)中得到廣泛應(yīng)用。然而,在評(píng)估隔膜閥潔凈度性能時(shí),最大限度地減少被截留流體的死體積是一個(gè)重要的考慮因素。這種死體積截留可能非常嚴(yán)重,并會(huì)影響工藝效率。此外,截留和流體混合可能導(dǎo)致分配時(shí)出現(xiàn)流體失效和污染問(wèn)題,因此往往需要額外的液體沖洗閥門,把失效或污染的液體沖走,從而浪費(fèi)非常昂貴的化學(xué)品。

日前,半導(dǎo)體和生命科學(xué)市場(chǎng)的兩家代表性企業(yè)的工程師與我們聯(lián)系,探討一種閥門解決方案,期待通過(guò)共同開(kāi)發(fā),達(dá)到圣戈班現(xiàn)有閥門(3/16”)所無(wú)法達(dá)到的、使化學(xué)品截留量最低的要求。

圣戈班設(shè)計(jì)服務(wù)解決方案

圣戈班的高純度系統(tǒng)團(tuán)隊(duì)在其產(chǎn)品組合中推出了一款全新的Furon? HPV迷你閥門(1/8”)。這款全新閥門尺寸的出現(xiàn)以一種差異化的解決方案對(duì)圣
戈班現(xiàn)有的閥門體系進(jìn)行了補(bǔ)充。它將幫助客戶滿足不斷增長(zhǎng)的工藝潔凈度和制造成品率的要求。這款全新的閥門設(shè)計(jì)旨在優(yōu)化流體流通路徑,以避
免可能出現(xiàn)的截留區(qū)域。

下表對(duì)比了Furon? HPV迷你閥門(1/8”)與競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手的一個(gè)1/8”閥門,性能優(yōu)勢(shì)將緩解工藝挑戰(zhàn)。經(jīng)確認(rèn),我們的設(shè)計(jì)在不犧牲Cv 的情況下,將流道
總體積從 0.50CC 減少到 0.30CC,我們認(rèn)為這是一項(xiàng)重要的設(shè)計(jì)成就。
流道體積得到優(yōu)化,這就意味著為了使系統(tǒng)穩(wěn)定下來(lái)所需沖洗或吹掃時(shí)間更短,從而減少設(shè)備停機(jī)時(shí)間。

客戶體驗(yàn)

圣戈班的全新Furon? HPV迷你閥門(1/8”)解決方案將使客戶能夠進(jìn)一步減少因污染問(wèn)題導(dǎo)致的任何設(shè)備停機(jī)或不必要的沖洗時(shí)間。
?